脚踏实地的前行者，科教协同的苏州探索

                                       ——记2016全国优秀科技工作者赵立波

“苏州是一个古典与现代高度融合的城市，正如我对科研的追求一样，既能够在国家急需的国防领域迎难而上，取得重大科研成果，又要在产业化的道路上不断探索，让科研成果服务社会。”近日刚刚入选全国优秀科技工作者的赵立波在接受记者采访时说。赵立波的导师蒋庄德院士告诉记者：“赵立波是非常优秀的科技工作者，获得这项荣誉是对他科研成绩和科研态度的双重肯定。”

赵立波是西安交大机械工程学院仪器系主任，也是苏州纳米科技协同创新中心微纳机电制造专业中心的科研骨干，担任中国微米纳米技术学会微纳米制造与装备分会理事兼副秘书长、中国仪器仪表学会传感器分会理事、陕西省机械工程学会常务理事兼常务副秘书长等职务。此前，他还曾获得中国机械工程学会青年科技成就奖等荣誉。

MEMS技术属于机械、电子、材料等学科的交叉领域，既要在高成本研究的条件下取得突破性学术进展，又要在国际上相对成熟的产业链中占有一席之地是MEMS研究的两大难题。“为何难还要坚持？”面对记者的提问赵立波非常从容的回到：“导师教导我们，搞科研要敢于坐‘冷板凳’。这么多年他一直在坚持，我作为学生自然不可能‘掉链子’。”当然，在MEMS领域一直坚守，除了是传承导师衣钵外，还有一个重要原因，MEMS的高尖端技术一直为国外垄断，特别是涉及到航空航天、石油化工、军工等关系国家命脉领域。

为了克服这两个困难，16年来，赵立波除了依托西安交通大学的科研条件外，还充分依托苏州纳米科技协同创新中心，与苏州纳米协同创新中心的产业化单位合作，迎难而上。“无论有多难，看起来有多不‘划算’，这个国际必争的MEMS领域我们都不可能也绝不能放弃。”在他看来，这是一个科技工作者必须的责任和担当。

当前，赵立波正依托苏州纳米科技协同创新中心的微纳机电制造专业中心，以西安交通大学苏州研究院、纳米学院为载体与苏州纳米城、苏州大学联合开展“高温压力传感器关键技术开发及工程化中试”项目攻关，基于团队在“耐高温压力传感器”取得的前期科研成果，重点开展压阻式压力传感器的结构创新设计及其配套工艺的研发和工程化研究，使传感器在高温高压的恶劣环境下，既具有高灵敏度、高稳定性、低蠕变特性，又具有很好的动态响应特性，为汽车、石油勘探、冶金、航空航天、兵器工业等战略产业提供必须的核心共性产品，改变相关产业核心元器件受制于人的局面。

付出总有收获。在探索中，赵立波带领着研究小组，聚焦在传感器的基础理论以及制造工艺和测试分析等关键技术方面。建立了变截面悬臂梁、槽膜等结构的力学模型并进行了理论分析；提出了快速测量流体密度的实验方法，解决了黏密度与微电流的在线测量难题；发明了倒杯、槽膜等结构的压阻力敏芯片，突破了航空航天、石油化工、军工等领域高温、高频响、极端量程等条件下的压力/加速度测量难题。

荣誉是肯定，更是鞭策。如今，除了苏州纳米城、苏州大学之外，赵立波团队还正在与苏州苏大维格、苏州天隆生物科技进行面向轨道交通和生化物质检测的MEMS传感器研究工作。在未来的科研道路上，希望结合苏州工业园区的纳米技术和生物产业的基础，与协同创新中心各单位加强协同创新，脚踏实地，一路向前。

2011纳米科技协同中心微纳机电制造专业中心

                                                                           供稿/编辑：王书蓓